上海集成电路材料研究院采用创新范式提高光刻材料研发效率 集微网消息，上海集成电路材料研究院官网日前刊文，回顾了该院建院两年来取得的科研与产业化成果。 这家由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海硅产业集团股份有限公司共同发起成立的研究机构致力... 大千世界 2022-08-14 135 #集成电路 #材料 #光刻
国产 EDA 新突破，东方晶源推出计算光刻云方案 IT之家 7 月 16 日消息，据东方晶源发布，近日，东方晶源微电子科技(北京)有限公司(以下简称“东方晶源”)发布首款基于云端的 EDA 计算光刻平台 ——AeroHPO 全流程协同优化系统... 大千世界 2022-07-17 116 #东方晶源 #EDA #光刻
长鑫存储公开“半导体光刻补偿方法”专利 IT之家 7 月 2 日消息，近日长鑫存储技术有限公司公开多项专利，其中一条名称为“半导体光刻补偿方法”，公开号为 CN114675505A。 专利摘要显示，本申请实施例属于半导体制造技术领... 大千世界 2022-07-03 167 #长鑫存储 #半导体 #光刻
